Фотолитография - значение слова

≈ см. Фотомеханические способы печатания.

ФОТОЛИТОГРАФИЯ, фотолитографии, ж. (тип.). Литография, основанная на применении фотографии. См. (фото) в 1 знач.

ФОТОЛИТОГРАФИЯ (от фото... и литография) -..1) фотомеханический способ изготовления печатной формы плоской печати на камне или металлической пластине...2) Оттиск с такой формы.

Фотолитография, 1) специальный фотография, процесс на фоторезистах, отличающийся высокой разрешающей способностью. Цель Ф. √ создать в слое фоторезиста «окна» заданной конфигурации для доступа травителя к расположенной под этим слоем полупроводниковой пластине с окисной плёнкой. Такие «окна» образуются при экспонировании фоторезиста в потоке ультрафиолетового излучения или в потоке электронов, в результате которого он теряет (негативный фоторезист) или приобретает (позитивный фоторезист) способность к растворению. Одним из многочисленных применений Ф. служит получение этим методом сотен тысяч мельчайших упорядоченно расположенных отверстий в масках цветных телевизоров. См. также Планарная технология. 2) Фотомеханический способ изготовления литографской печатной формы (см. Литография), при котором изображение с негатива копируется на светочувствительный слой, покрывающий поверхность литографского камня (или металла). После проявления копии её подвергают химической обработке, в результат...