«Вакуумом» - ударение в слове
В указанном выше слове ударение ставят на слог с буквой А — вАкуумом.
вАкуумом.
Вакуумом - творительный падеж слова вакуум
Примеры
После открытия необычных сверхмалых квантов являющихся, одновременно, дискретно-волновыми энергочастицами — квантовым ва́куумом. — В. И. Тихонов, Божественные основы структуры мироустройства Вселенной, 2015