«Тихонько» - ударение в слове

Монтэг опустил руку, и травяной стебелёк коснулся его ладони, как будто ребёнок тихо́нько взял его за руку.

Я подослал ее вызвать тихо́нько Акулину Памфиловну. — Пушкин А.С. Капитанская дочка

Чувствует — кто-то его тихо́нько за плечо трогает, ну и проснулся.

Кроули тихо́нько засмеялся.

Стараясь не привлекать к себе внимания, Максим тихо́нько прошел к своему рабочему месту и негромко поздоровался с ассистентом.