«Обоготворению» - ударение в слове

Сначала, как правило, это приводило к грубому идолопоклонству, к обоготворе́нию отдельных предметов и явлений. — протоиерей Александр Мень, Сын Человеческий, 1990

При низком уровне просвещения это вело к обоготворе́нию исторически относительных и временных обрядовых форм. — Николай Бердяев, Русская идея. Истоки и смысл русского коммунизма, 1946

Эта близость к природе и сознание могучего влияния её на жизнь человека привели к обоготворе́нию природы и возвели это чувство на степень религии. — Иван Никитчук, Мятущаяся Украина. История с древнейших времен, 2020