«Наноструктура» - ударение в слове

Второй, наиболее распространённый — «сверху-вниз», удаляет лишний материал до тех пор, пока не будет получена соответствующая нанострукту́ра. — Д. Ю. Соколов, Патентование изобретений в области высоких и нанотехнологий