«Кавитацией» - ударение в слове

Сначала шли процессы обработки дезинтеграции атомов и ядер вещества электрической холодной плазмой, затем кавита́цией с образованием более крупных фракций. — Александр Александрович Шадрин, Структура мироздания Вселенной. Часть 2. Макромир

От занятий кавита́цией я перешёл к занятиям энергетикой воды. — Владимир Киврин, Энергетика воды. Расшифрованные послания кристаллов воды

Это явление называют кавита́цией. — Николай Николаевич Кожевников, Исследования грунтозаборных устройств земснарядов. Модели грунтозаборных устройств

Очистка днища от обрастания, это само собой, смена деформированных листов обшивки и погрызенных кавита́цией винтов. — Василий Звягинцев, Ловите конский топот. Том 2. Кладоискатели, 2008