«Хемосорбции» - ударение в слове

Метод ALD (Atomic Layer Deposition) — «атомно-слоевое осаждение» материала на заданную поверхность; метод основан на хемосо́рбции из газовой фазы и является цикличнодискретным процессом. — И. В. Балабанов, Нанотехнологии. Правда и вымысел