«Фотолитографии» - ударение в слове

Поскольку эта книга[1] переиздавалась посредством фо́толитогра́фии, у меня не было возможности внести изменения и дополнения в первоначальный текст. — Джон Уилер-Беннет, Брестский мир. Победы и поражения советской дипломатии, 1938

Материально-техническая база информационных технологий есть прямой продукт развития и использования лазерной физики и лазерно-оптических технологий в виде волоконно-оптических линий связи и фо́толитогра́фии субмикронных размеров, обеспечившей возможность создания современной компьютерной и другой техники, запись и считывание информации. — И. А. Грибоедова, Беларусь 2020: наука и экономика, 2015

Применяются в медицинских и сельскохозяйственных приборах и устройствах, в светокопировальных аппаратах и фо́толитогра́фии. — А. П. Горкин, Энциклопедия «Техника» (с иллюстрациями)

Сегодняшний предел традиционной фо́толитогра́фии, составляет 35 нм — Новая методика способна за короткое время пройти путь от нынешних 80 до 5-10 нм. — PC Magazine/RE, Журнал PC Magazine/RE №01/2009