«Эпитаксия» - ударение в слове
Слово эпитаксия может употребляться в 2-х разных значениях:
1) эпитакси́я — существительное
В данном варианте ударение должно быть поставлено на слог с последней буквой И — эпитаксИя.
2) эпита́ксия — если образовано от слова эпитаксия
В таком варианте ударение падает на слог с буквой А — эпитАксия.