«Электровакуумных» - ударение в слове

Для создания отечественных систем управления крылатыми ракетами потребовались новые подходы к микроминиатюризации эле́ктрова́куумных приборов и повышению их качества. — А. А. Шокин, Александр Иванович Шокин. Портрет на фоне эпохи, 2014

Богословским был заключён договор, определивший условия, при которых последний обязался организовать массовый выпуск эле́ктрова́куумных изделий на новом заводе, и он был назначен его управляющим. — А. А. Шокин, Александр Иванович Шокин. Портрет на фоне эпохи, 2014

Благодаря ему предприятие получило в своё распоряжение образцы современных эле́ктрова́куумных изделий и их чертежи, а главное — технологию их производства. — А. А. Шокин, Александр Иванович Шокин. Портрет на фоне эпохи, 2014

Баумана, на факультет эле́ктрова́куумных приборов. — А. А. Краснопивцев, Жажда справедливости. Политические мемуары. Том I, 2013

Газопрессовая сварка достаточно широко применяется, например, при производстве эле́ктрова́куумных приборов и в других сферах производства, благодаря простоте процесса сварки, доступности оборудования и низкой квалификации персонала. — Е. А. Банников, Сварка, 2014