«Атомарной» - ударение в слове

Идея транзакции достаточно проста — существует набор связанных операций, называемых транзакцией, и эта группа операций является атома́рной (неделимой). — А. А. Стахнов, Linux, 2002

Наноробот (нанобот) — кибернетическое устройство нанометрических масштабов, изготовленное с атома́рной точностью. — И. В. Балабанов, Нанотехнологии. Правда и вымысел

По своей атома́рной структуре вы не сильно отличаетесь от камня. — Андрей Кананин, Нереальная реальность. Вся трилогия в одной книге

Через несколько секунд пеленгирующие лучи сменились ливнем боевого удара, и от «ракет» не осталось ничего: ни пыли, ни атома́рной взвеси, ни электромагнитного излучения. — Василий Головачев, Война с джиннами, 2002